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Fundamentals Of Technological Processes – prof. Matteo Cocuzza

Quantum Engineering · Politecnico di Torino · 1º anno · annuale · 6 CFU · canale unico

Libri del canale

Fundamentals Of Technological Processes 6 CFU

MCProf. Matteo Cocuzza Canale unico
Menz – Microsystem TechnologyVerificato sulla scheda ufficiale il 02/10/2026
Bacheca del docente: cosa indica di studiare
  • The didactic material (slides for the lectures) will be distributed in pdf format by the teachers and uploaded on the Didactic Portal before the course start. Some optional additive readings (i.e.

Argomenti del programma: Micro and nano-scale technologies (30 h): ● Substrate preparation and crystallography (1,5 h) ● Cleanroom technology (1,5 h) ● Silicon oxidation (1,5 h) ● Epitaxy (VPE, LPE, MBE, CBE), CVD (APCVD, LPCVD, PECVD, MOCVD, ICPCVD), ALD, PVD (evaporation, sputtering), electroplating (6 h) ● Doping by diffusion and by ion implantation (3 h) ● Lithography (optical, e-beam, SPM) and advanced lithography (EUV, NIL, block…

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Testi d'esame di Fundamentals Of Technological Processes del prof. Matteo Cocuzza, canale unico, corso di laurea in Quantum Engineering (Laurea magistrale (LM-29)), Politecnico di Torino, 1º anno · annuale · 6 CFU, a.a. 2026/2027. Libri adottati: Menz – Microsystem Technology; Frank Pobell – Matter and Methods at Low Temperatures; Applied Superconductivity - Handbook on Devices and…; Tafuri – Fundamentals and Frontiers of the Josephson Effect.

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Vedi anche: Prof. Matteo Cocuzza · Fundamentals Of Technological Processes a Politecnico di Torino (tutti i canali)