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Frank Pobell – Matter and Methods at Low Temperatures

Libro adottato a Politecnico di Torino, a.a. 2026/2027 · 1 canale

«Frank Pobell – Matter and Methods at Low Temperatures» è adottato per Fundamentals Of Technological Processes dal prof. Matteo Cocuzza (Quantum Engineering – Politecnico di Torino).

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Come lo indica il docente: “Matter and Methods at Low Temperatures”, Frank Pobell, Springer Berlin Heidelberg, 2007

Chi lo adotta

Programma e testi di ogni canale

Fundamentals Of Technological Processes – Prof. Matteo Cocuzza Canale unico

Corso di laurea: Quantum Engineering · Laurea magistrale (LM-29) · 1º anno · annuale · 6 CFU

Politecnico di Torino · Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni · 6 CFU · apri nel catalogo · Quantum Engineering · 1º anno ›

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Bacheca del docente: cosa indica di studiare
  • The didactic material (slides for the lectures) will be distributed in pdf format by the teachers and uploaded on the Didactic Portal before the course start. Some optional additive readings (i.e.

Argomenti del programma: Micro and nano-scale technologies (30 h): ● Substrate preparation and crystallography (1,5 h) ● Cleanroom technology (1,5 h) ● Silicon oxidation (1,5 h) ● Epitaxy (VPE, LPE, MBE, CBE), CVD (APCVD, LPCVD, PECVD, MOCVD, ICPCVD), ALD, PVD (evaporation, sputtering), electroplating (6 h) ● Doping by diffusion and by ion implantation (3 h) ● Lithography (optical, e-beam, SPM) and advanced lithography (EUV, NIL, block…

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