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Fundamentals Of Technological Processes – Politecnico di Torino

Politecnico di Torino · Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni · tutti i canali con docenti e libri, a.a. 2026/2027

Prof. Matteo Cocuzza Canale unico

Corso di laurea: Quantum Engineering · Laurea magistrale (LM-29) · 1º anno · annuale · 6 CFU

Politecnico di Torino · Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni · 6 CFU · apri nel catalogo · Quantum Engineering · 1º anno ›

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Tafuri – Fundamentals and Frontiers of the Josephson EffectCerca su Amazon ›Verificato sulla scheda ufficiale il 02/10/2026
Bacheca del docente: cosa indica di studiare
  • The didactic material (slides for the lectures) will be distributed in pdf format by the teachers and uploaded on the Didactic Portal before the course start. Some optional additive readings (i.e.

Argomenti del programma: Micro and nano-scale technologies (30 h): ● Substrate preparation and crystallography (1,5 h) ● Cleanroom technology (1,5 h) ● Silicon oxidation (1,5 h) ● Epitaxy (VPE, LPE, MBE, CBE), CVD (APCVD, LPCVD, PECVD, MOCVD, ICPCVD), ALD, PVD (evaporation, sputtering), electroplating (6 h) ● Doping by diffusion and by ion implantation (3 h) ● Lithography (optical, e-beam, SPM) and advanced lithography (EUV, NIL, block…

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