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Physics Of Technological Processes – prof. Matteo Cocuzza

Nanotechnologies for ICTs · Politecnico di Torino · 1º anno · 1º semestre · N4SIS - Nanotechnologies for Smart and Integrated Systems · 6 CFU · canale unico

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Physics Of Technological Processes 6 CFU

MCProf. Matteo Cocuzza Canale unico
Menz – Microsystem TechnologyVerificato sulla scheda ufficiale il 02/10/2026
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  • The didactic material (slides for the lectures) will be distributed in pdf format by the teacher and uploaded on the Didactic Portal before the course start.

Argomenti del programma: Integrated Circuits technologies (wafer preparation, cleanroom technology, silicon oxidation, epitaxy, CVD, evaporation, sputtering, electroplating, diffusion, ion implantation) (2 ECTS) Lithographic techniques, wet etching, dry etching, back-end technologies, CMOS process flow (2 ECTS) Introduction to MEMS and NEMS, bulk micromachining, surface micromachining, LIGA, wafer bonding, MEMS packaging, MEMS complementary…

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Testi d'esame di Physics Of Technological Processes del prof. Matteo Cocuzza, canale unico, corso di laurea in Nanotechnologies for ICTs (Laurea magistrale (LM-29)), Politecnico di Torino, 1º anno · 1º semestre · N4SIS - Nanotechnologies for Smart and Integrated Systems · 6 CFU, a.a. 2026/2027. Libri adottati: Menz – Microsystem Technology.

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