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Advanced Microsystems And Labs – prof. Nominare Docente Da

Nanotechnologies for ICTs · Politecnico di Torino · 1º anno · 2º semestre · MNIS - Micro and Nanotechnologies for Integrated Systems · 12 CFU · canale unico

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Advanced Microsystems And Labs 12 CFU

NDProf. Nominare Docente Da Canale unico
Menz – Microsystem TechnologyVerificato sulla scheda ufficiale il 02/10/2026
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  • The didactic material (slides for the lectures) will be distributed by teachers. Suggested but not mandatory books will be specified by the teacher. Among them:

Argomenti del programma: Advanced microsystems and LABS Integrated Circuits technologies (wafer preparation, cleanroom technology, silicon oxidation, epitaxy, CVD, evaporation, sputtering, electroplating, diffusion, ion implantation) (2 ECTS) Lithographic techniques, wet etching, dry etching, back-end technologies, CMOS process flow (2 ECTS) Introduction to MEMS and NEMS, bulk micromachining, surface micromachining, LIGA, wafer bonding,…

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Testi d'esame di Advanced Microsystems And Labs del prof. Nominare Docente Da, canale unico, corso di laurea in Nanotechnologies for ICTs (Laurea magistrale (LM-29)), Politecnico di Torino, 1º anno · 2º semestre · MNIS - Micro and Nanotechnologies for Integrated Systems · 12 CFU, a.a. 2026/2027. Libri adottati: Menz – Microsystem Technology.

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