Advanced Microsystems And Labs – Politecnico di Torino

Politecnico di Torino · Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni · tutti i canali con docenti e libri, a.a. 2026/2027

Prof. Nominare Docente Da Canale unico

Corso di laurea: Nanotechnologies for ICTs · Laurea magistrale (LM-29) · 1º anno · 2º semestre · MNIS - Micro and Nanotechnologies for Integrated Systems · 12 CFU

Politecnico di Torino · Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni · 12 CFU · apri nel catalogo · Nanotechnologies for ICTs · 1º anno · 2º semestre ›

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Menz – Microsystem Technology Cerca su Amazon ›Verificato sulla scheda ufficiale il 02/10/2026

Bacheca del docente: cosa indica di studiare

The didactic material (slides for the lectures) will be distributed by teachers. Suggested but not mandatory books will be specified by the teacher. Among them:

Argomenti del programma: Advanced microsystems and LABS Integrated Circuits technologies (wafer preparation, cleanroom technology, silicon oxidation, epitaxy, CVD, evaporation, sputtering, electroplating, diffusion, ion implantation) (2 ECTS) Lithographic techniques, wet etching, dry etching, back-end technologies, CMOS process flow (2 ECTS) Introduction to MEMS and NEMS, bulk micromachining, surface micromachining, LIGA, wafer bonding,…

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