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Libri di Advanced Micro And Nanofabrication Technologies – prof. Daniela Petti

Mechanical Engineering - BV,PC · Politecnico di Milano · 2º anno · 1º semestre · Micro and nano systems · 5 CFU · canale unico

Libri del canale

Advanced Micro And Nanofabrication Technologies 5 CFU

DPProf. Daniela Petti Canale unico

Testi consigliati (facoltativi)

Milton Ohring – Materials Science of Thin Films 2nd EditionVerificato sulla scheda ufficiale il 03/10/2026
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Marc – Fundamentals of Microfabrication and NanotechnologyVerificato sulla scheda ufficiale il 03/10/2026
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Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Part I - Deposition Introduction: objectives, examples. Vacuum technology: pressure, gas transport, vacuum systems. Surface thermodynamics: surface properties, nucleation, and film growth modes. Film epitaxy: mechanisms and the effect of strain. Thermal evaporation: vapour pressure, deposition rate, and uniformity; electrical and e-beam evaporation, molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition.

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Testi d'esame di Advanced Micro And Nanofabrication Technologies del prof. Daniela Petti, canale unico, corso di laurea in Mechanical Engineering - BV,PC (Laurea triennale), Politecnico di Milano, 2º anno · 1º semestre · Micro and nano systems · 5 CFU, a.a. 2026/2027. Libri adottati: Milton Ohring – Materials Science of Thin Films 2nd Edition; Marc – Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology.

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Vedi anche: Prof. Daniela Petti · Advanced Micro And Nanofabrication Technologies a Politecnico di Milano (tutti i canali)