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Advanced Micro And Nanofabrication Technologies – Politecnico di Milano

Politecnico di Milano · Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione · tutti i canali con docenti e libri, a.a. 2026/2027

Prof. definito Docente non Canale unico

Corso di laurea: Biomedical Engineering · Laurea triennale · esame facoltativo · 5 CFU

Politecnico di Milano · Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione · 5 CFU · apri nel catalogo

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Prof. Daniela Petti Canale unico

Corso di laurea: Engineering Physics · Laurea triennale · esame facoltativo · 5 CFU / 2º anno · 1º semestre · 5 CFU

Politecnico di Milano · Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione · 5 CFU · apri nel catalogo · Engineering Physics · 1º semestre ›

Testi consigliati (facoltativi)

Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Part I - Deposition Introduction: objectives, examples. Vacuum technology: pressure, gas transport, vacuum systems. Surface thermodynamics: surface properties, nucleation, and film growth modes. Film epitaxy: mechanisms and the effect of strain. Thermal evaporation: vapour pressure, deposition rate, and uniformity; electrical and e-beam evaporation, molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition.

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Prof. Daniela Petti Canale unico

Corso di laurea: Ingegneria Fisica · Laurea triennale · 3º anno · 1º semestre · 5 CFU

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Testi consigliati (facoltativi)

Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Part I - Deposition Introduction: objectives, examples. Vacuum technology: pressure, gas transport, vacuum systems. Surface thermodynamics: surface properties, nucleation, and film growth modes. Film epitaxy: mechanisms and the effect of strain. Thermal evaporation: vapour pressure, deposition rate, and uniformity; electrical and e-beam evaporation, molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition.

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Prof. Daniela Petti Canale unico

Corso di laurea: Materials Engineering and Nanotechnology · Laurea triennale · esame facoltativo · Micro and Nano Systems · 5 CFU

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Testi consigliati (facoltativi)

Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Part I - Deposition Introduction: objectives, examples. Vacuum technology: pressure, gas transport, vacuum systems. Surface thermodynamics: surface properties, nucleation, and film growth modes. Film epitaxy: mechanisms and the effect of strain. Thermal evaporation: vapour pressure, deposition rate, and uniformity; electrical and e-beam evaporation, molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition.

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Prof. Daniela Petti Canale unico

Corso di laurea: Mechanical Engineering - BV,PC · Laurea triennale · 2º anno · 1º semestre · Micro and nano systems · 5 CFU

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Testi consigliati (facoltativi)

Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Part I - Deposition Introduction: objectives, examples. Vacuum technology: pressure, gas transport, vacuum systems. Surface thermodynamics: surface properties, nucleation, and film growth modes. Film epitaxy: mechanisms and the effect of strain. Thermal evaporation: vapour pressure, deposition rate, and uniformity; electrical and e-beam evaporation, molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition.

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