Microelectronic Technologies – prof. Marcello Mariani

Engineering Physics · Politecnico di Milano · esame facoltativo · 054081 CFU · canale unico

Libri del canale

Microelectronic Technologies 054081 CFU

MMProf. Marcello Mariani Canale unico

Il docente indica 2 testi · da studiare tutti

Plummer – Integrated Circuit FabricationVerificato sulla scheda ufficiale il 03/10/2026

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Testi consigliati (facoltativi)

James – Michael DealVerificato sulla scheda ufficiale il 03/10/2026

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Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Introduction -Semiconductor industry history -Semiconductor physics review Process flow (1) -Process flow for a CMOS device Silicon - Crystallography review (Bravais lattice, crystalline structures) -Silicon lattice - Defects and thermodynamics of point defects -Mono-crystalline silicon growth (CZ) -Silicon wafer fabrication process Silicon oxidation - Silicon oxide structure - Deal and Grove model -Oxidation…

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Testi d'esame di Microelectronic Technologies del prof. Marcello Mariani, canale unico, corso di laurea in Engineering Physics (Laurea triennale), Politecnico di Milano, esame facoltativo · 054081 CFU, a.a. 2026/2027. Libri adottati: Plummer – Integrated Circuit Fabrication; James – Michael Deal.

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