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James – Michael Deal

Libro adottato a Politecnico di Milano, a.a. 2026/2027 · 4 canali

«James – Michael Deal» è adottato per Microelectronic Technologies dal prof. Marcello Mariani (Biomedical Engineering, Electronics Engineering, Engineering Physics e altri corsi – Politecnico di Milano).

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Come lo indica il docente: James D. Plummer, Michael Deal, Peter D. Griffin, Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice, and Modeling, Prentice Hall, Anno edizione: 2001

Chi lo adotta

Programma e testi di ogni canale

Microelectronic Technologies – Prof. Marcello Mariani Canale unico

Corso di laurea: Biomedical Engineering · Laurea triennale · esame facoltativo · 054081 CFU

Politecnico di Milano · Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione · 054081 CFU · apri nel catalogo · Biomedical Engineering · 2º semestre ›

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Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Introduction -Semiconductor industry history -Semiconductor physics review Process flow (1) -Process flow for a CMOS device Silicon - Crystallography review (Bravais lattice, crystalline structures) -Silicon lattice - Defects and thermodynamics of point defects -Mono-crystalline silicon growth (CZ) -Silicon wafer fabrication process Silicon oxidation - Silicon oxide structure - Deal and Grove model -Oxidation…

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Microelectronic Technologies – Prof. Marcello Mariani Canale unico

Corso di laurea: Electronics Engineering · Laurea triennale · 2º anno · 2º semestre · 10 CFU / esame facoltativo · 054081 CFU

Politecnico di Milano · Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione · 10 CFU · apri nel catalogo · Electronics Engineering · 2º anno · 2º semestre ›

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Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Introduction -Semiconductor industry history -Semiconductor physics review Process flow (1) -Process flow for a CMOS device Silicon - Crystallography review (Bravais lattice, crystalline structures) -Silicon lattice - Defects and thermodynamics of point defects -Mono-crystalline silicon growth (CZ) -Silicon wafer fabrication process Silicon oxidation - Silicon oxide structure - Deal and Grove model -Oxidation…

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Microelectronic Technologies – Prof. Marcello Mariani Canale unico

Corso di laurea: Engineering Physics · Laurea triennale · esame facoltativo · 054081 CFU

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Argomenti del programma: Introduction -Semiconductor industry history -Semiconductor physics review Process flow (1) -Process flow for a CMOS device Silicon - Crystallography review (Bravais lattice, crystalline structures) -Silicon lattice - Defects and thermodynamics of point defects -Mono-crystalline silicon growth (CZ) -Silicon wafer fabrication process Silicon oxidation - Silicon oxide structure - Deal and Grove model -Oxidation…

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Microelectronic Technologies – Prof. Marcello Mariani Canale unico

Corso di laurea: Telecommunication Engineering · Laurea triennale · esame facoltativo · 054081 CFU

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Argomenti del programma: Introduction -Semiconductor industry history -Semiconductor physics review Process flow (1) -Process flow for a CMOS device Silicon - Crystallography review (Bravais lattice, crystalline structures) -Silicon lattice - Defects and thermodynamics of point defects -Mono-crystalline silicon growth (CZ) -Silicon wafer fabrication process Silicon oxidation - Silicon oxide structure - Deal and Grove model -Oxidation…

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