Imaging And Fabrication Of Micro And Nanostructures (C.I.) – Politecnico di Milano

Politecnico di Milano · Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione · tutti i canali con docenti e libri, a.a. 2026/2027

Prof. Daniela Petti Canale unico

Corso di laurea: Engineering Physics · Laurea triennale · esame facoltativo · 10 CFU

Politecnico di Milano · Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione · 10 CFU · apri nel catalogo · Engineering Physics · 1º semestre ›

Il docente indica 2 testi · da studiare tutti

Testi consigliati (facoltativi)

Milton Ohring – Materials Science of Thin Films 2nd Edition Cerca su Amazon ›Verificato sulla scheda ufficiale il 03/10/2026

Marc – Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology Cerca su Amazon ›Verificato sulla scheda ufficiale il 03/10/2026

Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Argomenti del programma: Part I - Deposition Introduction: objectives, examples. Vacuum technology: pressure, gas transport, vacuum systems. Surface thermodynamics: surface properties, nucleation, and film growth modes. Film epitaxy: mechanisms and the effect of strain. Thermal evaporation: vapour pressure, deposition rate, and uniformity; electrical and e-beam evaporation, molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition.

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