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Bruce – Microlithography - Science and Technology

Libro adottato a Politecnico di Torino, a.a. 2026/2027 · 1 canale

«Bruce – Microlithography - Science and Technology» è adottato per Advanced Technologies And Applications dal prof. Luciano Scaltrito (Nanotechnologies for ICTs – Politecnico di Torino).

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Come lo indica il docente: “Microlithography - Science and Technology”, Third Edition, Edited by Bruce W. Smith and Kazuaki Suzuki, CRC Press

Chi lo adotta

Programma e testi di ogni canale

Advanced Technologies And Applications – Prof. Luciano Scaltrito Canale unico

Corso di laurea: Nanotechnologies for ICTs · Laurea magistrale (LM-29) · 1º anno · 2º semestre · N4SIS - Nanotechnologies for Smart and Integrated Systems · 6 CFU

Politecnico di Torino · Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni · 6 CFU · apri nel catalogo · Nanotechnologies for ICTs · 1º anno · 2º semestre ›

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Bacheca del docente: cosa indica di studiare
  • The didactic material (slides for the lectures) will be distributed in pdf format by the teacher and uploaded on the Didactic Portal before the course start.

Argomenti del programma: First module – MEMS devices (23 hours): • Micro pressure sensors (2,5 hrs) • Micro accelerometers (2 hrs) • Acoustic sensors (3 hrs) • Flow sensors (1 hr) • Microfluidic devices (4 hrs) • Chemical sensors (1,5 hrs) • Biosensors (1,5 hrs) • MEMS for biomedical applications (2 hrs) • MEMS for genomic applications (2,5 hrs) • MEMS testing (3 hrs) Second module – Advanced technologies (37 hours): • Advanced…

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