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Cabrini – And Satoshi Kawata, eds.Nanofabrication handbook

Libro adottato a Sannio, a.a. 2026/2027 · 1 canale

«Cabrini – And Satoshi Kawata, eds.Nanofabrication handbook» è adottato per Micro And Nano Fabrication Technologies dal prof. Mohammed Janneh (Electronics Engineering for Automation and Sensing – sede di Benevento – Sannio).

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Come lo indica il docente: Cabrini, Stefano, and Satoshi Kawata, eds.Nanofabrication handbook. Vol. 180. Boca Raton, FL: CRC press, 2012

Chi lo adotta

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Micro And Nano Fabrication Technologies – Prof. Mohammed Janneh Canale unico

Corso di laurea: Electronics Engineering for Automation and Sensing – sede di Benevento · Laurea magistrale (LM-29) · esame facoltativo · 9 CFU

Sannio · Dipartimento di Ingegneria · 9 CFU · apri nel catalogo · Electronics Engineering for Automation and Sensing – sede di Benevento · 2º anno · 1º semestre ›

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Bacheca del docente: cosa indica di studiare
  • Durante il corso verranno condivisi appunti delle lezioni in formato elettronico.

Argomenti del programma: 1. Introduzione al corso: Introduzione alle tecnologie di micro e nanofabbricazione. 2. Processi litografici: Teoria di base di Spin Coating / Fotolitografia / Litografia a scrittura diretta / Scrittura laser diretta / Fascio ionico focalizzato / Litografia a fascio di elettroni. 3. Processo per la deposizione di film sottili: Principi base della deposizione - Deposizione fisica e chimica da vapore 4.

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