Madou – Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology

Name: Madou – Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology
ISBN: 9781351990615

Libro adottato a Campus Bio-Medico, a.a. 2026/2027 · 1 canale

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Come lo indica il docente: M.Madou, Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, 3rd Ed., CRC Press, 2011

ISBN 9781351990615

Chi lo adotta

Biomicrosistemi – Prof. Enrico Domenico Lemma (canale unico)Ingegneria Biomedica · Laurea magistrale (LM-21) · esame facoltativo · 6 CFU

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Biomicrosistemi – Prof. Enrico Domenico Lemma Canale unico

Corso di laurea: Ingegneria Biomedica · Laurea magistrale (LM-21) · esame facoltativo · 6 CFU

Campus Bio-Medico · Facoltà Dipartimentale di Ingegneria · 6 CFU · apri nel catalogo · pagina del canale (anno, semestre, libri)

Il docente indica 2 testi · da studiare tutti

Madou – Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnologyquesto libroVai su Amazon ›Il prof non ha cambiato il libro dall'anno scorsoVerificato sulla scheda ufficiale il 01/10/2026

Bhushan – 4th Vai su Amazon ›Il prof non ha cambiato il libro dall'anno scorsoVerificato sulla scheda ufficiale il 01/10/2026

Bacheca del docente: cosa indica di studiare

Dispense del docente e pubblicazioni scientifiche accessibili online sul sito: Bibliografia aggiuntiva:

Argomenti del programma: Parte 1: Fondamenti teorici (8 ore) – concetti chiave: risoluzione, analisi dimensionale, fenomeni di scaling e progettazione per similitudine; – elementi di microfluidica; – proprietà e processabilità dei materiali di maggiore interesse. Parte 2: Microtecnologie (40 ore) – litografia UV; – processi sottrattivi (wet e dry etching) e additivi (ossidazione, CVD, PVD, ecc.); – microtecnologie dei polimeri; – tecnologie…

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