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Jaeger – Introduction to Microelectronic Fabrication

Libro adottato a Pavia, a.a. 2026/2027 · 1 canale

«Jaeger – Introduction to Microelectronic Fabrication» è adottato per Electronic Instrumentation And Technologies dal prof. Piero Malcovati (Electronic Engineering – sede di Pavia – Pavia).

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Come lo indica il docente: R. C. Jaeger. Introduction to Microelectronic Fabrication, 2nd Edition. Prentice-Hall, Upper Saddle River, NJ, USA, 2002. Per maggiori dettagli sulla parte del programma riguardante le tecnologie per circuiti integrati

Chi lo adotta

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Electronic Instrumentation And Technologies – Prof. Piero Malcovati Canale unico

Corso di laurea: Electronic Engineering – sede di Pavia · Laurea magistrale (LM-29) · 1º anno · 2º semestre · Percorso MICROELECTRONICS · 9 CFU

Pavia · Dipartimento di Ingegneria Industriale e dell'Informazione · 9 CFU · apri nel catalogo · Electronic Engineering – sede di Pavia · 1º anno · 2º semestre ›

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Bacheca del docente: cosa indica di studiare
  • Dispensa sulle tecnologie di fabbricazione dei circuiti integrati (punti 1, 2 e 3 del programma):
  • Dispense e trasparenze su argomenti di strumentazione elettronica (punti da 4 a 10 del programma).

Argomenti del programma: 1) Tecnologia planare del silicio Semiconduttori. Il silicio. Produzione del lingotto di silicio e preparazione della fetta. Passi di lavorazione fondamentali nella tecnologia planare del silicio: ossidazione termica; diffusione termica; impiantazione ionica; deposizione chimica da fase vapore; deposizione fisica da fase vapore (evaporazione sotto vuoto e sputtering); altre tecniche di deposizione di strati sottili;…

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